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    薄膜測試配置方案

    發布時間:2019-05-27 15:55:00人氣:

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    方案介紹:
     
       附著在基底上的薄膜表面進行反射測試時,會出現一副干涉條紋的圖樣,配置合適的測試方案,通過特定測試軟件,可以計算出薄膜的厚度。 
       薄膜測量系統是基于白光干涉的原理來確定光學薄膜的厚度。測試得到白光干涉圖樣后,再進行數學運算計算出薄膜厚度。
       對于單一類型的膜層來說,如果已知薄膜的n和k值就可以計算出它的物理厚度。
     
       將光纖光譜儀與光纖探頭在生產線上構建實時測量系統,可為高精度工件加工線上質量監測和工業鍍膜過程提供了一種靈活方便的測量手段。
       薄膜測量主要應用于半導體晶圓工業,此時需要監控等離子刻蝕和沉積過程,還可以用于其它在金屬和玻璃基底上鍍制透明膜層的測量領域。

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